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リンテックは独自技術で世界のオンリーワン企業を目指します。
そしてその技術を通じ社会への貢献を果たしたいと考えています。 |
マスフローコントローラ・液体気化供給器
精密質量流量制御器
マスフローコントローラは、半導体製造及び液晶パネル製造工程で使用される、各種気体及び液体の質量流量を高精度で制御する機器であり、ＩＣ、液晶製造においてはなくてはならないキーデバイスとなっています。
液体、気体の流量を体積ではなく質量（重さ）で制御するため、温度、圧力に依存することがなく、極めて高精度で流体を制御することができます。
液体気化供給器は、マスフローコントローラで制御された液体を、効率よく気化させる機器であり、気化供給器もまた、次世代半導体材料供給技術のキーデバイスです。
これらの機器は、 半導体、液晶パネル製造用途のみならず、燃焼ガスの制御、燃料電池用、各種分析機器、ガスモニター等、流体の制御、流量管理が必要な用途に幅広く使用されています。
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POCl3(オキシ塩化リン)蒸発量制御器
バブラーコントローラ BC-1000/BC-2000
バブラーコントローラBC-1000/BC-2000は、半導体製造及び太陽電池製造等のリン拡散工程で使用されるPOCl3(オキシ塩化リン)をバブリング方式により蒸発させ、高精度に供給流量を制御する機器です。
原料の蒸発量を決めるキャリアガス流量、バブラー内温度はマスフローコントローラ、恒温槽の電子冷却・加熱素子によりそれぞれ精密な制御がなされるため高精度な流量制御が可能です。
接液及び接ガス部にはフッ素樹脂を使用し、腐食、汚染を防止しています。
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太陽電池用バブラーコントローラ
BC-1000 |
半導体用バブラーコントローラ
BC-2000 |
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